半导体设备用超高纯316L不锈钢夹杂物控制水平解析-中国冶金2025年02期-手机知网

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半导体设备用超高纯316L不锈钢夹杂物控制水平解析

上海大学材料科学与工程学院先进凝固技术中心;国芯超高纯(江苏)材料有限公司;中国特种设备检测研究院压力容器部;上海百图低温阀门有限公司 | 高占江翁建寅骆辉罗学武徐翔宇付建勋

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超高纯度(UHP)AISI 316L奥氏体不锈钢是半导体设备部件的关键材料，采用真空感应熔炼(VIM)加真空自耗重熔(VAR)工艺生产的材料称为A料，采用氩氧脱碳炉(AOD)加VAR工艺生产的材料称为B料。为了寻找国内生产与进口的超高纯316L不锈钢...

机　构:

上海大学材料科学与工程学院先进凝固技术中心；国芯超高纯(江苏)材料有限公司；中国特种设备检测研究院压力容器部；上海百图低温阀门有限公司；

领　域:

冶金工业；

关键词:

超高纯316L不锈钢；夹杂物；VAR；成分；洁净度；

格　式:

PDF原版；EPUB自适应版(需下载客户端)

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