SiC压阻式压力传感器是解决飞行器表面高温脉动压力原位测量的重要测试工具，为了提高传感器性能、降低敏感芯片金属—半导体接触阻抗，本文对n型4H–SiC欧姆接触的制备工艺及性能进行了研究。采用离子注入工艺对SiC基片进行了磷（P）离子注入，根据蒙特卡洛...