为有效测量实际工作压力，设计了一种高灵敏度线性硅基压阻式压力传感器。在压力传感器中研究了具有相似表面积和厚度的两种隔膜结构（圆形和八边形）。首先建立含有隔膜的压力传感器数学模型，基于薄板理论获得隔膜的挠度和应力公式。再利用COMSOL软件建立硅基压力...