GIS设备内部机械故障是影响GIS设备安全性和可靠性的重要因素之一，过去采用的振动传感器只能对断路器动作的瞬间或GIS设备整体振动的情况进行分析，无法对GIS内部机械故障进行有效的诊断和评价。介绍了GIS内部噪声产生的原因，并提出了采用接触式压电传感器结合示波器来进行GIS设备内部机械故障检测的方法，最后结合一起220 kV GIS设备隔离开关气室内部机械故障案例对其有效性进行了验证。