随着高新技术产业的兴起,高纯稀土金属及合金靶材在国防军工及新能源汽车、集成电路、新型显示、5G通讯等领域不断得到新的应用,成为高新技术产业发展不可或缺的关键材料。高纯稀土靶材制备的薄膜具有高介电常数、耐高温及高压电系数等性能,已成为高密度存储芯片、新...