铈基稀土抛光材料主要应用在硅基半导体、光学元件、手机盖板、液晶面板减薄、玻璃和石材磨具等领域。本文综述了铈基稀土抛光材料在各领域的应用现状和发展前景。在半导体抛光领域,氧化铈抛光液的进步显著但距离批量应用还有待突破,国外对半导体加工材料的管制促进了国...